洁净室中高效过滤器要如何安装

洁净室中高效过滤器要如何安装

洁净室
1、高效过滤器安装前,必须对洁净室进行全面清扫、擦净,净化空调系统内部如有积尘,应再次清扫、擦净,达到清洁要求。如在技术夹层或吊顶内安装高效过滤器,则技术夹层或吊顶内也应进行全面清扫、擦净。

2、洁净室及净化空调系统达到清洁要求后,净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上,再次清扫、擦净洁净室后立即安装高效过滤器。

3、高效过滤器的运输和存放应按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中应轻拿轻放,防止剧烈振动和碰撞。

高效送风口过滤器

4、高效过滤器安装前,必须在安装现场拆开包装进行外观检查,内容包括滤纸、密封胶和框架有无损坏;边长、对角线和厚度尺寸是否符合要求;框架有无毛刺和锈斑(金属框);有无产品合格证,技术性能是否符合设计要求。然后进行检漏。经检查和检漏合格的应立即安装。安装时应根据各台过滤器的阻力大小进行合理调配,对于单向流,同一风口或送风面上的各过滤器之间,每台额定阻力和各台平均阻力相差应小于5%,洁净度级别等于和高于100级洁净室的高效过滤器,安装前应按附录六、一规定的方法检漏,并符合第5.4.1条规定的要求。

5、安装高效过滤器的框架应平整。每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm。

6、高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫、不干胶、负压密封、液槽密封和双环密封等方法时,都必须把填料表面、过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净。

7、采用密封垫时,垫的厚度不宜超过8mm,压缩率为25%~30%。

8、采用液槽密封时,液槽内的液面高度要符合设计要求,框架各接缝处不得有渗液现象。采用双环密封条时,粘贴密封条时不要把环腔上的孔眼堵住;双环密封和负压密封都必须保持负压管道畅通。

9、安装高效过滤器时,外框上箭头应和气流方向一致。当其垂直安装时,滤纸折痕缝应垂直于地面。

洁净室高效过滤器安装现场图

 

无尘洁净室中的三尘。无尘洁净室有三大原则:禁尘、带尘、产尘。风淋室作为进入洁净室的缓冲通道之一,是控制带尘的更好净化设备之一,它可以更大限度地减少员工进出无尘洁净室所带来的污染问题。风淋室的两道门电子互锁,可以兼起气闸室的作用,阻止外界污染和未被净化的空气进入无尘洁净区域,达到生产车间所要求的生产洁净环境。

无尘洁净室主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。

当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

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