净化厂房的制度与纪律标准参数
净化厂房的制度与纪律标准参数
装修净化厂房内的人是净化厂房室内污染的重要来源。净化工程必须尽可能减少净化厂房内人员活动所造成和传播的污染,以确保室内洁净度及降低维护费用。制定净化厂房的纪律,其目的就是使产品的污染风险降至最低。
净化厂房的运行管理人员在制定净化厂房纪律时,首先,应该对净化厂房内工作的人员以及净化厂房内部运行工作人员,包括维修人员和服务人员的活动,制定严格的纪律加以规范; 其次应该注意的是,净化厂房内所生产的产品对污染的敏感性是不同的,而为净化厂房制定的纪律应反映出这一点。
1.1严格控制进入净化厂房的人员
人在行走时,每分钟可以产生约百万个粒径≥0.5um。净化厂房内人员越多,散发的粒子数量也越多。因此,管理人员应尽量控制净化厂房内人员数量,也就是说仅允许必需的人员进人净化厂房。
此外,还要尽量减少净化厂房的参观者。由于参观者没有接受过净化厂房工作培训,因此 只有在监管人员的管理之下,才能进入净化厂房。理想的方案是为净化厂房设计供参观者使用的观察窗,这样参观者就不一定非要进入室内,从而减少了造成 污染的概率。
1.1.1对净化厂房工作人员的基本要求
净化厂房的工作人员与一般场所的工作人员相比,应该尽量减少人体散发的污染。净化厂房运行管理人员应该制定详细的要求,以期将室内工作人员造成的污染控制在可接受的范围内。
对净化厂房工作人员身体状况的基本要求
净化厂房工作人员应保持身体健康,出现以下身体状况的人员,可能产生大量的污染粒 子。因此,直至症状完全消除前,不宜进入净化厂房工作。
患有某些皮肤病
特别是皮炎、皮肤灼伤、头皮屑过量等状态时,因皮肤可能散布大量的皮细胞,而不 宜入净化厂房工作。
患有呼吸系统疾病
例如感冒、慢性肺部疾病等,易造成过量咳嗽或打喷嚏而散发大量的飞沫,病愈前不 宜人净化厂房工作。
过敏体质的人员
过敏体质人员容易有打喷嚏、搔痒、流鼻涕等症状,一般不适合在净化厂房内工作。
可能携带某些微生物、病菌的人员
在生物净化厂房中,有时必须将人员与产品隔离开,以防止人员可能携带的微生物病菌 在产品上滋长,从而损害产品或造成疾病。这些人员对其所从事的工作是否合适的问题, 应连同产品对某种具体类型的微生物在其上生长的敏感性一道予以考虑。
对净化厂房工作人员卫生习惯的基本要求
净化厂房工作人员应保持良好的个人生活与卫生习惯,不良习惯同样会造成净化厂房潜在 的污染源,下列卫生习惯要求净化厂房工作人员在日常生活中予以关注。
人员应有良好的个人卫生习惯
要定期洗澡,清除头皮屑。每次理发后要洗头,防止头发屑落在产品上。皮肤干燥的 人,应使用护肤霜代替护肤油滋润皮肤,以减少皮屑散发。
—般不允许进入净化厂房工作时使用化妆品
各类化妆品、爽身粉、护发用品、头发定型胶、指甲油等都不宜使用。净化厂房通常将 人体上的所有外来物都视为污染物。化妆品会对净化厂房造成污染,因为使用化妆品时都会在皮肤上沉积大量的粒子(≥0.5um粒子数达109个),其中的一些粒子可能会释放到净化厂房中。
—般不允许在净化厂房中使用手表及首饰,如耳环、项链、手链、戒指等
如果使用首饰,必须将首饰置于服装和手套之内。戒指底下可能是藏污纳垢之处。而有的人员可能出于情感上的原因,不愿取下结婚戒指或定婚戒指。如果能将戒指及戒 指下面的皮肤洗净,也可允许戴着戒指。但戒指上可能刺破手套的地方,要用胶带裹住为妥。
进入净化厂房前几小时内不宜吸烟
吸烟者的口中可比一般的人释放出更多的粒子,他们的身体也会释放出某些化学气 体。所以有些净化厂房要求人员在进人净化厂房前几个小时禁止吸烟。
3.对净化厂房工作人员携带私人物品的限制
总的原则是非生产所需的任何物品,不得带人净化厂房内。具体规章可由净化厂房的管理 人员依据何种物品会对产品造成污染来决定。一般来说,下述物品应禁止带入净化厂房内: 食品、酒、糖果、口香糖;罐装或瓶装饮料;烟、火柴、打火机;自用的药品、药水、药 膏;收音机、唱盘播放机、袖珍磁带机、手机、呼机;报纸、杂志、书籍、手帕、面巾 纸;铅笔、橡皮、钢笔;钱币、钱夹、化妆品、手袋等。
1.1.2对净化厂房维修人员和服务人员的基本要求
进入净化厂房维修设备或提供服务的人员,同样可能因缺乏培训和监督,而对净化厂房环境造成污染。如果对维修技术人员事先未作说明,他们就可能会采用与净化厂房外使用的同样维修方法维修设备,其后果可能是严重的。来自外面公司的服务人员,可能未受过净化厂房污染控制方法的任何培训。为此下面列出了进入净化厂房的维修人员和服务人员应当了解的一系列相关规章:
获得许可方能进入
维修人员和服务人员只有在得到净化厂房管理人员的许可后,才可进人净化厂房。
培训与监督
维修人员和服务人员应受过净化厂房技术的培训,此外,在净化厂房他们的工作宜处在净化厂房管理人员严密的监督之下,进出净化厂房的时间及工作情况等,应记录备案。
穿着洁净服
维修人员和服务人员必须穿着与净化厂房T作人员同样或效率相当的洁净服。当他们进出净化厂房时,应与净化厂房工作人员采用相同的方式更衣。无论是周末或其他歇班时间,不穿着洁净服绝不允许进入净化厂房。维修人员和服务人员进入净化厂房前一定要脱下其原来的工作服,更换洁净服前要认真洗手。
净化厂房专用工具
净化厂房维修用的工具仅供净化厂房内使用,要保持洁净。若维修人员和服务人员或者外单位的承包商,需要将其必须的工具带入净化厂房时,这些工具应经过清洁,方可带入净化厂房。
文字、图纸等资料的进入
书写在非净化厂房专用纸上的文字或图纸等资料不得带入净化厂房内。可将其复印在洁净 室专用纸上,或者覆以塑料膜,或者放人净化厂房专用塑料袋中方可带人净化厂房。
产尘作业需隔离
一些产生粒子的作业,如钻洞、修理顶棚和地面,应与净化厂房的其余部分采取相应措 施隔离开。同时,宜采用局部排风或真空吸尘器,清除所产生的粒子。
维修工作后的清扫
维修人员和服务人员在工作完成后必须按净化厂房要求清理现场,并确保由具有专业知 识的人员将该区域按“净化厂房清洁方式”进行清洁,清扫时只能使用经审定可用于净化厂房 的清洁剂、清洁材料和清洁设备。
1.2净化厂房内需遵守的纪律
为保证产品不受污染,净化厂房内的工作人员必须遵守相关的行为准则。净化厂房管理人 员必须制定一套与其净化厂房产品要求相适应的规章制度,在人员培训中,予以宣讲公布。并将这些规章制度张贴在更衣区或生产区。以下给出了一般采用的规章制度宜于包括的内容。
1. 2.1防止沿通道逆向气流增加污染
为防止空气不会从高污染区向低污染区,由净化厂房外走廊向生产车间逆向流动,工作 人员应遵守以下纪律:
1.人员必须经过更衣区进出净化厂房
更衣区不仅是用于更衣的,它也是外部的污染走廊与洁净生产区之间的缓冲区。除非 特殊情况,工作人员不得使用生产区与走廊间的紧急出口等直接出口,因为这会使污染直接进人生产区,同时他们的服装也会因此受到污染。
2.净化厂房所有的门应关闭(除保持正压外)门若敞开时,两个毗邻区域间的空气会由于紊流及区域温差产生逆向流动。
3.手动关门、开门的动作要慢
如果快速开、关门,空气会因门扇转动偏快使诱导作用增强,造成空气向净化厂房内逆向流动。
对于正压净化厂房,门一般是向里开,即向生产间开。室内较高的空气压力使门关闭较严密。有些为了使手上持有物品的人员出门方便而向外开,门上应安装关门器,使门平时处于关闭状态,且开关门时关门器应控制门缓慢转动以减少诱导作用所产生的空气逆向流动。外开的门一般不带把手,有助于避免手套造成的污染。
4.穿过气闸室的注意点(风淋室)应确保在第一道门已关闭时再通过第二道门。可使用指示灯,显示门是否处在关闭状 态。通常两边门采用电子联锁装置即可实现这一点。传递窗的用法与此相似。但要注意的是,当发生火灾时,必须保证气闸室不会因此产生危险。换句话说,出现火警时,气闸室门禁电子联锁应解除。
1.2.2防止工作人员在净化厂房内的不当动作增加污染为保证人员的动作不会在净化厂房内造成过多的污染,应考虑下面的相关建议:
1.工作人员不允许有不当行为人员污染物的产生量与活动量成正比。根据美国著名洁净技术先驱Austin. P. R. 1965 年发表在美国污染控制协会(AACC)的污染索引(Contamination Index)的测试数据,人 员身着洁净服不同动作时的产尘量如表1-1所列。从表中可知,人静止不动时,每分钟产生的大于等于0.3um的粒子约为10万个;人在活动时身体、头、肩膀等每分钟可产生大 于等于0.3um的粒子约为1百万个;人的走动速度为3.6km/h时,每分钟产生的大于等于0.3um的粒子约为5百万个。因此,要求净化厂房所有人员不要“轻举妄动”,任何移动 都应慎重,并按规定进行,不允许过多无用的动作。
操作人员要正确站位:
人员相对产品而言,应处在正确的位置上,这样才不致污染物落在产品上。不应倾身在产品上方,否则从其身上散落的粒子、纤维或带有微生物的粒子就会掉在产品上。
移动或拿起产品的方法:
必须事先考虑好如何移动或拿起产品。为防止戴有手套的手污染产品,建议采用“无接触”方式拿起产品。虽然在净化厂房中人员戴有手套,污染会少些,但它仍然可能成为污染源。在线宽较大,尚可允许较低的成品率时,这种方法仍在使用。“无接触”方式的一 个例子就是使用长夹子移动材料,这样就避免了用手拿材料造成的污染,人员不应靠身体来搬运材料
尽管人员穿着的洁净服比普通服装或工作服洁净得多,但服装上仍然存在粒子、纤维并且有可能因不当操作转移到所搬运的物品上。因此操作人员同时应注意防止让任何物品在产品的上方拖过。
人员不宜触摸、倚靠净化厂房的任何表面:
尽管净化厂房的表面比室外要洁净得多,但在室内设备的表面上,仍会存留有粒子、纤 维及细菌。如果人员从这些表面上粘上污染物,这些污染物就可能传到产品上。在净化厂房 内无需用手时,宜两手抓紧置于身前,有助于防止手部不经意地触摸净化厂房设备表面。
人员在工作时不应说话:
说话、咳嗽、打喷嚏等都会使唾液从口罩与皮肤的缝隙处喷出而污染产品。在咳嗽或 打喷嚏时,必须将头从产品处移开。打喷嚏后一般都要更换口罩。口罩一定要罩在鼻子上而不得在鼻下,因为喘粗气时大粒子会从鼻内释放出来。
私人手帕不能带入净化厂房内:
私人手帕显然是污染源,它可以把粒子(包括带有微生物的粒子)带人空气中,粘在手套上。在净化厂房内也不能擤鼻子,擤鼻子可以在更衣区进行,事后一定要更换手套。工作人员在净化厂房内还应避免接触自身皮肤,搔痒、擦拭任何部位的皮肤,都属不妥行为。
1.2.3防止净化厂房内材料使用不当而增加污染;
有关净化厂房内使用材料的建议如下:
1.在净化厂房中应使用污染程度低的抹布
选择使用哪种形式的抹布,由净化厂房的维护费用预算和净化厂房生产什么产品来决定。 并且还必须确定抹布丢弃前可以重复使用的次数。
净化厂房之间应尽可能减少材料的移动:
每次将产品带出净化厂房,它就有可能在洁净度较差的区域受到污染。而当它再度进入净化厂房时,就会将这种污染带入室内。最好将产品储存在净化厂房一个合适的洁净区域内,或储存在毗邻的洁净区。
防止加工品被污染:
在生产阶段,人们一般非常注意不使产品受到污染。而产品一旦完成某工序后,往 在净化厂房内容易被遗忘,灰尘就会在产品上聚集。因此,易受污染的产品要置于密封柜中,或容器内,或单向流工作台内,或隔离装置内。如果净化厂房为单向流净化厂房,可以使用气流能够穿过其间的储物架放置产品。此外,不得将材料置于地板上。
废弃物的处理:
要经常将废弃物收集起来放人易于识别的容器内,并移出净化厂房。
保持净化厂房整洁:
要采用正确的方法清扫净化厂房,或在需要时对净化厂房进行消毒,要保持净化厂房内整齐有序。必须使用合乎要求的清洁工具,才能保证清洁效果。
净化厂房在一定空间范围内,将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物排除,并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化厂房所特别设计的房间,不论外在空气条件如何变化,室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。这比用紊流来描述乱流洁净室更确切、更全面。紊流主要决定于雷诺数,洁净房也就是主要受流速的影响,但是如果采用一个高效过滤器顶送的送风形式,则即使流速极低,也要产生上述各种结果,这就因为它是一个突变流和非均匀流。因此这种情况下不仅有流层之间因紊流流动而发生的掺混,而且还有全室范围内的大的回流、旋涡所发生的掺混。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,洁净房但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,洁净房特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。