百级、千级、万级、十万级净化车间设计要求
百级、千级、万级、十万级净化车间设计要求
100级、10000级、100000级、1000000级;净化车间可根据要求设计、施工,百级、千级、万级、十万级洁净室洁净度。
一、净化车间的规格:
净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。
但是,伴随着洁净净化工程度的不断提高,美国联邦规格进行了改版,其内容主要是以洁净度进行分类。
最新版已成为No209E,名称也进行了变更。No.209E的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3,把X表示成级别,同时加上米制M的意思,表示成M3.5等等。
在美国联邦规格No.209B,美国联邦规格No.209E。
在日本,相应的规格是9920。9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个,用Y表示级别。9920的级别的主要内容。
无尘车间不同用途所要求的洁净度:
如前所述,净化间的级别一般分成M3.5(100)、M4.5(1000)、M5.5(10000)、M6.5(100000)4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同,形成必要的级别是不一样的。例如,在半导体制造工厂等里边,根据作业内容,要求有M1(10)—M5.5(1000)的净化间。而且,在制药工厂里,根据产品的纯度、作业工序,需有从M3.5到M6.5(100,000)范围广泛的级别不等净化间。因此说,各种产业所需要的净化间,其要求的洁净度是不同的。
生物净化间级别:
100级、10000级、100000级;
粒子生物粒子:室内压力Pa,mmH2O,温度℃,湿度%气流换气次数,照度Lx,粒径um。
洁净无尘车间洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
2、光学微电子行业净化工程设计方案分析之水冷柜机+增压新风柜+高效送风口与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
优点:
A.空气处理效果较好的,处理过后的空气在送风过程中被污染程度低。送风的温度、湿度控制效果可以达到较好的控制。主要在空气处理机组(增压风柜)里进行控制;
B.布置灵活。自带冷源;
C.大小厂房、新旧厂房都适用;
D.维修频率较低;
E.车间噪音低。
缺点:
A.需要小面积的机房。需要有冷却塔、冷却水泵的摆放位置;
B.空调机组与空调处理机组要集中布置;
C.造价较低。特点:这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
3、光学微电子行业净化工程设计方案分析之分体空调柜机+FFU高效送风口这是更简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);”梓净”牌风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶送风天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
优点:
A.不需要占用机房面积,布置很灵活的;
B.可以满足空气的洁净度;
C.造价最低。如此类无尘车间初投资约需要40万;
D.送风均匀度好。
缺点:
A.温湿度控制较差;
B.可以满足空气的洁净度;
C.FFU的维修频率高。
4、光学微电子行业净化工程设计方案分析之无尘车间的特点
A、无尘车间
洁净无尘车间洁净度:
LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间,其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。背光屏类无尘车间主要是这类产品的冲压车间、组装等无尘车间,其洁净度一般为万级或十万级。
洁净无尘车间室内空气参数要求:
(1)温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
(2)新风量大。由于这类车间内,人员比较多,可以根据以下数值应取下列的最大值:非单向流洁净室总送风量的10-30%;补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量;保证室内每人每小时的新鲜 空气量≥40m3/h。
(3)送风量大。为了满足洁净室内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量,就300平方米的车间,吊顶高度为2.5米的,如果是万级,送风量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送风量(换气次数,是≥25次/h);如果是十万级,送风量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送风量(换气次数,是≥15次/h)。